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化學(xué)過濾器在電子行業(yè)的應(yīng)用


發(fā)布時(shí)間:

2023-02-10

  在集成半導(dǎo)體器件、微電子等高科技企業(yè)中,隨著產(chǎn)品工藝復(fù)雜度的增加和產(chǎn)品工藝線寬度的縮小,空氣中的氣態(tài)分子污染物(以下簡稱AMC)往往會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降和性能下降和失敗,化學(xué)過濾器起著重要作用,那么,下面一起了解下化學(xué)過濾器在電子行業(yè)的應(yīng)用!

  國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)在SEMI F21-95和F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈環(huán)境,規(guī)定了四個(gè)“標(biāo)準(zhǔn)范圍”:酸(MA)、堿(MB)、凝物(MC)和雜質(zhì)(MD)。

  AMC的危害,以電路板為例:電路板常見的化學(xué)故障是表面貼裝元件的銅蠕變腐蝕和鍍銀腐蝕,含硫氣體和水分會(huì)腐蝕電路板上所有銅鍍層,由此產(chǎn)生的硫化銅會(huì)導(dǎo)致電路板蠕變,并可能導(dǎo)致相鄰支座特征之間發(fā)生短路。同時(shí),含硫氣體能腐蝕銀,形成硫化銀;大量硫化銀的積累會(huì)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力,破壞封裝的完整性,并導(dǎo)致進(jìn)一步腐蝕,直到零件中的所有銀都耗盡,導(dǎo)致開路。

  在潔凈室中,污染不僅包括嚴(yán)格意義上的塵粒,還包括具有任何干擾作用的固體、液體、氣體、熱量、電磁等。大多數(shù)潔凈室都裝有化學(xué)過濾器或高效過濾器。它們對控制0.5微米以上的顆粒非常有效,但對小分子AMC效果不佳,過濾方式為傳統(tǒng)的物理過濾。存在二次污染的風(fēng)險(xiǎn),需要使用化學(xué)過濾器,這與化學(xué)過濾器的工作原理密不可分。

  化學(xué)過濾器有選擇地吸附有害氣體分子,而不是像普通過濾器那樣機(jī)械地“過濾”空氣中的異味、腐蝕性氣體、有毒氣體等雜質(zhì)。

  化學(xué)過濾器通常采用活性炭、活性氧化鋁、離子交換樹脂等凈化介質(zhì)作為過濾材料。中建南方提供多種化學(xué)過濾產(chǎn)品,通過合理配置可達(dá)到去除污染物的效果。

  不同行業(yè)不同場所對凈化后的氣態(tài)污染物濃度要求不同。在半導(dǎo)體、微電子等行業(yè),使用化學(xué)過濾器可以有效去除“分子污染物”,保護(hù)敏感的電子系統(tǒng)和印刷電路板。酸性氣體和水分的影響可以提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高產(chǎn)品成品率,保護(hù)工作人員的身體健康。